工業(yè)超純水設備工藝流程有以下幾種，具體采用哪種得根據企業(yè)的具體要求及現有的條件了。

第一種采用較簡便的工藝：前端砂碳預處理—然后經過一級RO機過濾—加藥機(PH調節(jié))－中間水箱－第二級反滲透－純化水箱－純水泵－出水端殺菌設備－精密過濾器－工廠使用水點（用水點）；

第二種經混床過濾的工藝：進水預處理－RO純水機－水箱－陰陽離子分床－陰陽混床－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－精制混床－精密過濾器－至用水點；

第三種采用EDI工藝：前端預處理－反滲透過濾機－中間水箱－水泵－EDI超純水過濾裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－精制混床－不銹鋼或UPVC精密過濾器－用水點采水；

為滿足用戶需要，達到符合標準的水質，盡可能地減少各級的污染，在工藝設計上，取達國家自來水標準的水為源水，再設有介質過濾器，活性碳過濾器，精密過濾器等預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床系統(tǒng)等。由于提出需要使用超純水設備的用戶在生產線或生產中對水質的要求非常高，要想經過層層過濾出的水能達到標準的要求必須加大力度減少水流經各級所造成的污染指數。一般進水水質達到國家自來水標準的水經過砂碳過濾器、反滲透純水系統(tǒng)再經EDI裝置過濾后會達到用戶的需求。通常超純水的水質電阻率在12個兆至18個兆之間。