高純水，超純水(high-purity water,ultra-high purity water)是化學純度極高的水，其中的雜質的含量小于0.1mg/L。目前人們制成的高純水的純度已經達到99.999999%，其中雜質含量低于0.01mg/L。將水中的導電介質幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體和有機物均去除至很低程度的水。

目前我國電子工業(yè)部把電子級水質技術分為五個行業(yè)等級，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質。

反滲透加EDI技術，屬當今世界上最先進的脫鹽技術，在電子、醫(yī)藥等行業(yè)水質凈化、清洗、水質純化以及廢水處理有著廣泛的應用。

電子工業(yè)超純水設備主要用途：　　

電子工業(yè)超純水設備主要用于微電子產品生產用高純水，半導體、顯象管制造業(yè)用超純水，集成電路板生產清洗用超純水，蓄電池、鋰電池、太陽能電池、干電池等生產用純水，高純水，超純水的制備。

例如，在電子工業(yè)方面，可以作為線路板清洗用超純水的處理設備，與其它技術諸如電滲析、離子交換和蒸餾相比，具有能耗低、脫鹽率高、除菌能力強和操作簡單、維護方便的特點，大大節(jié)省了運行、維修成本。

一、應用范圍概述：

　　微電子行業(yè):電解電容器生產、電子管生產、顯像管和陰極射線管生產、黑白顯像管熒光屏生產、液晶顯示器的生產、晶體管生產、集成電路生產、電子新材料生產；

　　化學化工：超純化學試劑生產化工新材料生產；

　　其它：貴金屬冶煉、磁性材料生產、電子級無塵布生產、光學材料生產等；

二、典型工藝流程

1　預處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－拋光混床－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥18MΩ.CM）

2預處理－一級反滲透－加藥機（PH調節(jié)）－中間水箱－第二級反滲透－純水箱－純水泵－EDI裝置－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥15MΩ.CM）

3　預處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥12MΩ.CM）(最新工藝)

三、標準參考

　　　顯像管、液晶顯示器用純水水質

　　　集成電路用純水水質

　　　國家電子級純水標準

四、設備特點

超純水設備具有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人值守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使該設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和運行可靠性。